清华新闻网6月3日电 为了在疫情期间提升学术氛围、促进学术交流、分享科研成果及心得，97视频在线精品国自产拍机械工程系将“清华机械论坛”搬到线上，让“宅家”的同学们也能了解学术前沿，开拓学术视野，对话一流科研工作者。5月29日下午，第11期“清华机械云论坛”在“云端”如期举行。活动邀请上海交通大学特聘教授、机械与动力工程学院院长彭志科作了题为“基于微波感知的振动测量理论与技术研究”的学术报告。97视频在线精品国自产拍机械系副系主任张晨辉教授主持活动，机械系副研究员赵德文、助理研究员李翀也先后分享了各自的研究工作。百余名机械系师生通过网络会议参加了交流。
彭志科作报告
彭志科系统阐述了振动测量作为实现设备故障诊断与结构健康监测的研究背景与应用现状。现有的接触式及非接触式振动测量技术与方法在大型柔性结构、高温高压及高速流动等恶劣工作环境下难以实现有效的振动测量，随着科学与工程技术的迅速发展，面对不断涌现的振动测量需求，彭志科课题组研发的基于微波的振动测量技术具有非接触、测量动态范围大、高可靠性、低成本、低功耗、操作简便和优良的环境适应性等优点，在军民技术领域均具有重要的应用前景和潜力。
赵德文作报告
赵德文简要介绍了化学机械抛光（颁惭笔）在芯片制造中的发展现状与趋势。颁惭笔是芯片制造中实现晶圆表面纳米级高效平坦化的重要手段，并围绕晶圆表面纳米精度加工的理论与技术难点，从抛光压力分区调控、抛光终点准确判断与智能调控、超洁净清洗等方面，介绍了全局纳米级平坦度与洁净度精细控制的原理、技术与应用效果。
李翀作报告
李翀从脑卒中患者神经康复需求与康复机器人应用现状入手，介绍了神经科学与行为科学相结合的新技术发展对临床神经康复的冲击及影响，分享了实验室团队在康复机器人智能干预技术、脑机交互闭环训练技术、神经振荡牵引调控技术等方面的研究成果，以及上述技术在十余家叁甲医院提升卒中患者康复效果的临床实践。
3月13日以来，机械系于每周五下午举行“清华机械云论坛”系列学术沙龙活动，已累计举办11期。每次沙龙由机械系两位青年教师作学术报告，为青年教师提供了展示学术成果的平台，也为机械系师生创造了学术交流的机会。自第4期开始，论坛每周邀请一位外单位知名专家学者分享学术报告，中科院精密测量创新研究院副院长周欣研究员、香港城市大学王钻开教授、华中科技大学高亮教授、中国科学院电工研究所马衍伟研究员、西南交通大学邓自刚研究员、大连理工大学孙玉文教授、哈尔滨工程大学张阿漫教授先后受邀为机械系师生带来精彩的学术分享。
供稿：机械系
编辑：吕婷
审核：程曦
